深圳市金徠技術有限公司
ShenZhen City JinLai Technology Co., Ltd.
135-3805-8187 0769-88087892
小型實驗型真空等離子清洗機 5L
產品型號：JL-VM05
產品功能：
對材料表麵進行清潔、活化、改性。
提升材料表麵潤濕性，親水性；
增強材料表麵粘接力、附著力。
矽片、金屬銅箔鋁箔、有機玻璃、塑膠橡膠、高分子材料、PTFE、PCB等材料表麵的清潔、處理，增強親水性、粘接力。
產品參數
外觀參數 | ||
外形尺寸 | 650*400*500 (寬*高*深） | |
重 量 | 55KG | |
等離子發生器係統 | ||
頻 率 | 13.65MHz 射頻 | |
功 率 | 300W （連續可調，精度為1W） | |
真空係統 | ||
真空腔體 | 材質 | 石英 |
腔體內部尺寸(MM) | φ155*260（直徑*深度) | |
腔體容積 | 5 L | |
密封性 | 軍工級焊接密封 | |
泵 | 真空泵 | 油泵/幹泵 |
處理溫度 | ＜60°C | |
流量計 | 浮子流量計 | |
氣路控製 | 2路處理氣體氣路，氣體流量可調 | |
真空度 | 10Pa --100Pa | |
工藝氣體 | Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂等（可選） | |
產品特點
- 實驗型小巧靈活、操作簡單、易維護。
- 金徠核心等離子技術，質量有保障。
- 觸摸屏操作界麵，數字及圖標多重工藝參數實時顯示。
- 針閥精密流量控製計，精度高。
- 316不鏽鋼材質,耐腐蝕，環保不產生金屬汙染。
- 多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。
- 可以根據客戶需求定製。
等離子清洗應用領域
等離子清洗作用
清 洗 去除材料表麵物/顆粒/髒汙物/氧化物、有機物，增加潔淨度，提升親水性、增強粘貼力；
活 化 將活性基團加入材料表麵分子鏈中提高材料表麵能，增加親水性與活性；
改 性 保持材料或製品原性能的前提下，賦予其表麵新的性能，如親水性、生物相容性等；
除 膠 去除光刻膠、電路板去膠，除膠渣，提升材料表麵的親水性、附著力、粘接力；
刻 蝕 ICP矽刻蝕、CCP介質刻蝕、金屬刻蝕，實現各向異性刻蝕，保證細小圖形轉移後的保真性；
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